| Taille de la zone de travail (Diamètre * Hauteur mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| Vide ultime (Pa) | 1*10-4 | 1*10-3 | 1*10-4 | 1*10-3 | 1*10-4 | 1*10-3 |
| Température maximale (°C) | 2400 | 2500 | 2400 | 2500 | 2400 | 2500 |
| Uniformité de la température (°C) | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 |
| Taux d'augmentation de la pression (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |